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北京恒奥德科技有限公司 010-51666869 传 真:010-69807135 13120411557 18701256112 联系人:李红慧 1575574360 1321298635 1445496132 号院16号楼317 (北京市地质工程勘察院院内)
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电子薄膜应力分布测试仪
电子薄膜应力分布测试仪
产品型号:BGS-6341 停产
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产品概述: | ||||||||||||||||||||||||
电子薄膜应力分布测试仪 型号:BGS-6341 该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。 仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。
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北京恒奥德科技有限公司 010-51666869 传 真:010-69807135 13120411557 18701256112 联系人:李红慧 1575574360 1321298635 1445496132 号院16号楼317 (北京市地质工程勘察院院内)
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