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电子薄膜应力分布测试仪
电子薄膜应力分布测试仪
产品型号:BGS-6341 停产
产品概述:

电子薄膜应力分布测试仪 型号:BGS-6341

该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。
国际首创的错位相移技术
计算机自动条纹处理
测试过程全自动
先进的曲面补偿测试原理
最大样品尺寸 ≤100mm (4英寸)
曲率范围 |R|≥5米
测试精度 5%
单片测量时间 3分钟/片
结果类型 面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能 三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电源 AC 220V±10%, 50Hz±5%
最大功耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重量 36kg

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