四探针测试仪技术指标 ：

测量范围

电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)； 电导率：0.0005～10000 s/cm；

电阻：0.0001～2000Ω.cm；

可测晶片直径

140mmX150mm(配 S-2A 型测试台)；

200mmX200mm(配 S-2B 型测试台)；

400mmX500mm(配 S-2C 型测试台)；

恒流源

电流量程分为 0.1mA、1mA、10mA、100mA 四档，各档电流连续可调

数字电压表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV； 分辨力：10μV；

输入阻抗＞1000MΩ； 精度：±0.1% ；

显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标

间距：1±0.01mm；

针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％；

探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm；

探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数

(见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

( 按 JJG508-87 进行)

0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω 小于等于 0.3%±1 字

整机测量最大相对误差

(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±5％

整机测量标准不确定度

≤5％

测试模式

可连接电脑测试也可不连接电脑测试。

软件功能（选配）

软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到 Excel 中，对数据进行各种数据分析。软件还

可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。

计算机通讯接口

并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要

1.5 秒 。

标准使用环境

温度：23±2℃；

相对湿度：≤65％； 无高频干扰；

无强光直射；

序号

品名

单位

配置

1

 配置一

四探针测试仪

套

四探针测试仪主机一台、四探针测试台一台、四探针探

头一个

2

配置二

四探针测试仪

套

四探针测试仪主机一台、四探针测试台一台、四探针探头一个、测试软件（含测控

模块）

3

配置三

四探针测试仪

套

四探针测试仪主机一台、四探针测试台一台、四探针探头一个、测试软件（含测控

模块）、台式电脑一台