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北京恒奥德科技有限公司 
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热式气体质量流量控制器
热式气体质量流量控制器
产品型号:S48 28/HMT S48-28/HMT
产品货号:28590
产品概述:
可以任意角度安装
  • 良好的线性——多段线性补偿
  • 快速的响应
  • 电磁阀使用寿命≥100万次
  • 对零点漂移有效的抑制
  • 全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
  • 良好的选择性
    编号 项目 S48 28/HMT
    1 流量规格  (100,150,200)L/min
    2 调节阀类型 电磁调节阀
    3 调节阀静止状态 常闭
    4 安装角度 任意
    5 流量控制范围 5%~100%
    6 流量测量范围 0~100%
    7 响应时间 2s(T98,设定值的±2% F.S.)
    8 工作环境温度 5℃~50℃
    9 精度保证温度 15℃~35℃
    10 精度 ±1.0%F.S.
    11 线性精度 ±0.5%F.S.
    12 重复性 ±0.2%F.S.
    13 工作压差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
    14 耐压 3MPa
    15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He)
    16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶
    17 管路接头 Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
    VCR:1/4″3/8″
    18 供电电源 ±15VDC(±5%)  
    +15V,<100mA;-15V,<200mA
    +24VDC(宽电压+11~+25V),
    <350mA(+24VDC供电时)
    19 设定信号 (0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
    20 流量输出信号 (0~5)VDC 负载能力≤3mA  
    21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9
    22 重量(kg) 2.8


    S48 28/HMT 安装尺寸图:

     

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